Luận văn Nghiên cứu chế tạo và khảo sát màng mỏng ôxit nhôm (Al2O3) bằng phương pháp quang phổ

Màng mỏng đồng thời vừa là ngành công nghệrất cũ, từtrước công nguyên, lại vừa rất mới mẽnhư đang hiện diện ngày nay. Màng mỏng là lớp vật liệu rắn có độdày cỡtừ nm đến cỡ μmphủlên một tấm đếcứng bằng thủy tinh, kim loại, gốm sứ, polyme, với chiều dày giới hạn khi mà các hiệu ứng vật lý và tính chất của nó thểhiện không giống nhưtrong vật liệu khối. Do đó, với sựgiảm lớn vềlượng đến nhưvậy, các tính chất riêng biệt bắt đầu xuất hiện nhưmột sựthay đổi vềchất, nhất là ởthang kích cỡnano. Nhìn chung, chiều dày của màng mỏng được đềcập trong các công nghệvật liệu và linh kiện điện tử, quang điện tử, nằm trong khoảng 10 ÷1000nm. Ngày nay, công nghệchếtạo màng mỏng là vô cùng đa dạng và phong phú, bao gồm nhiều phương pháp khác nhau, từ đơn giản đến phức tạp. Hiện nay, màng mỏng được áp dụng nhiều trong các ngành kỹthuật cao nhờvào các tính chất đặc biệt chỉcó ởvật liệu màng với kích thước mỏng, tiêu biểu nhưmàng điện môi, màng bán phản quang, màng chống phản xạ, màng lọc hồng ngoại, lọc tử ngoại, Đa sốcác ứng dụng màng ởthang kích thước micro, tuy nhiên, trong hai thập niên gần đây bùng nổcác nghiên cứu và khai thác vật liệu nói chung và màng mỏng nói riêng có cấu tạo ởthang kích thước nano, đang hứa hẹn nhiều tiềm năng. Hợp chất Al2O3 được nghiên cứu nhiều vào các thập niên 50 −60 và ít được quan tâm trong thời gian tiếp theo. Gần đây, kểtừnăm 2000, hợp chất này bắt đầu được quan tâm nhiều và sốlượng nghiên cứu ởphạm vi nano tăng cao, nhất là từnăm 2005. Xem các công bốvềAl2O3, đa sốcác bài báo đều nghiên cứu Al2O3 điều chế ở dạng khối rắn hoặc dạng hạt nano, rất ít công bốthông tin vềdạng màng mỏng. Màng Al2O3 được sửdụng rộng rãi đểlàm lớp cách điện và lớp phủbảo vệdo điện trởrất cao, cứng và trơhóa học. Các pha đã biết của ôxit nhôm gồm pha bền α−Al2O3và các pha trung gian (γ, δ, η, θ, β). Trong đó pha α được ứng dụng và được biết đến nhiều nhất. Pha γ được dùng là chất xúc tác trong hóa học và chuyển hóa hydrocarbon trong công nghệhóa dầu.

TÀI LIỆU LUẬN VĂN CÙNG DANH MỤC